特長
- バリア性にすぐれるふっ素ポリマーチューブです。
- 内層にはふっ素ポリマーPFAを、外層にはバリア性ふっ素ポリマーを使用したハイブリッドチューブです。
- 接液部の内層は半導体用PFAを使用し、半導体配管用途での高い基本特性（純粋性・耐薬品性・非粘着性・耐熱性）を備えています。
- バリア性ふっ素ポリマーは、酸（塩酸・硝酸等）・アンモニアのバリア性にすぐれます。
- 従来のPFAチューブ配管に比べ酸の透過を抑制します。
- 周辺環境への悪影響を提言します。
- 長期にわたり流体の透視性を維持できます。
- 機械特性は従来のPFAチューブと同等です。
- 原料投入から成型・梱包まで一貫して管理されたクリーン環境で製造しています。
用途
- 半導体・液晶製造装置用チューブ
- 太陽電池パネル製造装置用チューブ
- 薬液供給・洗浄装置用チューブ
- ケミカルプラント用チューブ
種類・仕様
| 種類 | 形状 | 使用液体 | 使用温度範囲 | 最高使用圧力 |
|---|---|---|---|---|
| ジュンフロンハイバリアPFAチューブ | ストレート | 空気・水・腐食性液体等 | -65℃～+180℃ | 寸法表参照 |
| 部品番号 | 旧部品番号 | チューブ寸法 外径×内径(mm) |
破壊圧力 | 最高使用圧力 | 最小曲げ半径 | 標準条長と標準色 直管(m) |
タバ巻き |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| TAH060 | TA060CL | 6×4 | 6.8 | 1.6 | 20 | 1～3 | 20 100 |
| TAH080 | TA080CL | 8×6 | 4.4 | 1.0 | 40 | ||
| TAH100 | TA100CL | 10×8 | 3.4 | 0.78 | 70 | ||
| TAH120 | TA120CL | 12×10 | 2.9 | 0.68 | 120 | ||
| TAH250 | TA250CL | 25×22 | 1.9 | 0.48 | 360 | ||
| TAH1/4G | TA1/4GCL | 6.35×3.95 | 6.8 | 1.6 | 20 | ||
| TAH3/8G | TA3/8GCL | 9.53×6.33 | 5.8 | 1.4 | 35 | ||
| TAH1/2G | TA1/2GCL | 12.7×9.5 | 4.2 | 0.98 | 75 | ||
| TAH3/4G | TA3/4GCL | 19×15.8 | 2.7 | 0.68 | 180 | ||
| TAH1G | TA1GCL | 25.4×22.2 | 2.0 | 0.50 | 350 | ||
| TAH1-1/4G | TA1-1/4GCL | 31.8×28.0 | 1.8 | 0.45 | 500 | ||
| TAH1-1/2G | TA1-1/2GCL | 38.1×33.7 | 1.8 | 0.45 | 600 |
●標準色：半透明
